- 高性能有机聚合物波导数字型热光开关被引量：1
- 2016年
- 设计并制备了一种高性能有机聚合物Y型数字热光开关(DOS)。通过设计Y型DOS特殊的分支与电极结构,利用光束传播法(BPM)模拟,优化设计得到了-56dB超低的开关串扰,并具有良好的波长无关特性。将DOS的下包层改为SiO2,利用其较大的热导率可以有效降低开关时间。利用旋转涂覆、真空镀膜、接触曝光、反应离子刻蚀(RIE)、切割和抛光等传统微加工工艺,并通过改进部分工艺流程,成功制得了有机聚合物DOS。器件插入损耗为4.7dB,功耗为31.7mW,光开关串扰仅为-40.3dB,开关的上升和下降时间分别为342和318μs。在相同的功耗下,当输入光波长信号从1 510到1 600nm变化,器件的插损小于6.8dB,串扰小于-31.0dB,呈现了非常良好的波长不相关特性。实验结果表明,本文研制的DOS同时具备低插损、低串扰、高速响应和波长不相关特性。
- 林军胡国华顾凯恽斌峰张若虎崔一平
- 关键词：高性能数字型热光开关
