王聪瑜
- 作品数：4 被引量：15H指数：2
- 供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程更多>>
- YSZ耐刻蚀涂层制备技术的研究
- 随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能.本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影...
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- 关键词：陶瓷涂层氧化锆氧化钇等离子喷涂技术耐腐蚀性能
- 氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状被引量：5
- 2015年
- 随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础。
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- 关键词：等离子喷涂
- 刻蚀腔室内衬用抗等离子体腐蚀涂层的研究现状被引量：2
- 2014年
- 干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技术领域的发展展望了抗等离子体刻蚀涂层的未来发展趋势。
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- 关键词：等离子体刻蚀在线监测
- MgO和烧结温度对Al_2O_3陶瓷致密化过程的影响被引量：8
- 2015年
- 以高纯α-Al_2O_3粉体为原料,MgO为烧结助剂,采用放电等离子烧结技术(SPS)制备氧化铝陶瓷。研究了MgO添加量和烧结温度对氧化铝陶瓷致密化过程及显微结构的影响,并分析了烧结过程中气孔的扩散与演变。结果表明:添加适量MgO可以降低氧化铝陶瓷的烧结温度,抑制晶粒长大,提高致密度,0.25%(质量分数)是MgO的最佳添加量;随着烧结温度的升高,晶粒逐渐长大,气孔率降低,1 550℃为最佳烧结温度;在此条件下获得的微米晶氧化铝陶瓷,其相对密度达到99.96%,平均晶粒尺寸约为3μm,且晶粒大小均匀,几乎无异常长大现象。
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- 关键词：MGO放电等离子烧结致密化气孔
