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林万勇

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：上海工业自动化仪表研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇在线测量系统
  • 1篇同位素
  • 1篇误差分析
  • 1篇膜厚
  • 1篇薄膜厚度
  • 1篇测量系统
  • 1篇差分

机构

  • 1篇华东理工大学
  • 1篇上海工业自动...

作者

  • 1篇林砺宗
  • 1篇宁宗奇
  • 1篇林万勇

传媒

  • 1篇计算机测量与...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
同位素薄膜厚度在线测量系统被引量：3
2008年
针对宽幅薄膜厚度实时测量的难点,设计了同位素薄膜厚度在线系统;提出了两点法来确定系统工作曲线,两点法减少了确定工作曲线的试验工作量,提高了工作曲线适应不同测量条件的能力;在分析了测量中出现的各种误差的基础上,讨论了针对各种误差的校正方法,采用了脉冲定时计数的方法测量信号频率,有效地提高了测量精度,具有广泛的应用价值;该系统在测量薄膜厚度时取得了良好的测量结果,并已经有产品进入市场。
林砺宗宁宗奇林万勇
关键词：同位素薄膜厚度误差分析
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共1页<1>
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