刘智鹏
- 作品数：1 被引量：2H指数：1
- 供职机构：西北大学物理学系更多>>
- 发文基金：陕西省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 锆钛酸铅薄膜中裂纹形成机制及标度律被引量：2
- 2013年
- 研究锆钛酸铅(PZT)薄膜退火后表面裂纹和褶皱的形成机制,建立裂纹空间斑图所遵循的物理标度律。通过射频磁控溅射的方法,直接在无缓冲层的硅基底上沉积不同厚度的PZT薄膜,并在650℃的温度下对其退火。使用光学显微镜以及扫描电子显微镜(SEM)对不同条件下制备的PZT薄膜进行表征,并从能量角度建立理论模型,揭示裂纹斑图的空间标度律。裂纹空间波长(间距)与薄膜的厚度遵循良好的线性标度律,这些裂纹将薄膜分成许多含有等级结构斑图的多边形区域。此外,在薄膜中褶皱气泡与裂纹共存,发现褶皱与裂纹的产生可以通过改变基底温度而去耦合,并通过提高基底温度有效地抑制裂纹的形成。将有助于了解裂纹的形成机制与抑制方法,并为建立薄膜力学性质与其光电等物理性能的内在联系提供重要的理论与实验依据。
- 刘智鹏罗昊朱瑞王朋伟马军经光银
- 关键词：残余应力标度律PZT薄膜射频磁控溅射
