但敏
- 作品数:2 被引量:6H指数:2
- 供职机构:重庆理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于纳米时栅传感器安装偏差的测量精度分析研究被引量:4
- 2017年
- 为了解析安装参数与测量精度的关系,根据纳米时栅的基本测量原理,构建出与动、定尺间距d0和正对面积变化量ΔS相关的数学模型。通过理论推导,分析了动尺在yz平面倾斜、xy平面偏转时会导致两路驻波幅值不等、相位偏移,从而给测量结果带来二次误差。实验结果表明通过调整动尺在yz平面与xy平面上的安装,对极内原始误差由4.86μm降低至0.84μm,证明动尺在yz平面倾斜、xy平面偏转为产生二次误差的主要原因。在行程200 mm测量范围内,传感器误差峰峰值为400nm。实验结果验证了理论分析的正确性,该分析为传感器结构参数优化和实验方法的改进提供了有力的支撑,为进一步提升传感器精度提供了可靠的理论依据。
- 王合文吴玉梅郑方燕但敏樊星辰
- 关键词:时栅
- TDC-GP21电场式圆时栅传感器信号处理系统设计被引量:2
- 2016年
- 针对时栅传感器信号处理系统需要高精度时间间隔测量的需要,设计了一种基于TDC-GP21芯片测量时间间隔的时栅信号处理系统。采用FPGA控制TDC芯片的高精度测量模式对整数部分时间脉冲进行计数,小数部分时间脉冲采用门电路延迟进行细测,使时间测量更为精确,从而提高了时栅位移传感器的分辨率;通过校准测量对测量结果进行补偿修正,减小了测量误差。实验结果表明:采用该系统后72对极的圆时栅在0°~360°测量范围内,传感器的原始测量精度达到±1″,分辨率为0.036″。
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- 关键词:时栅信号处理