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C2团簇在金刚石(111)表面吸附结构的研: 利用Brenner(#2)半经验势函数和分子动力学模拟方法研究了荷能的C在金刚石(111)表面的化学吸附过程。对300K时,初始入射动能分别为1,20,30eV的C团簇从6个不同位置轰击金刚石(111)表面进行了模拟,观...; 郭德成李双阎梦泽赵艳春李之杰; 文献传递

Si(111)表面离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的计算机模拟被引量：1: 2009年; 本文选C2分子和Ar离子作为沉积源和辅助沉积粒子,采用分子动力学(MD)方法在Si(111)面上模拟研究了离子束辅助沉积(IBAD)类金刚石(DLC)膜的物理过程.重点讨论了C2分子和Ar离子的入射能量及到达比(Ar/C)对平均密度和sp3键含量的影响,并与Si(001)-(2×1)表面生长类金刚石膜的结果进行比较.结果表明,到达比和入射能的改变,对薄膜结构的影响不同;Si(111)面上生长类金刚石膜,薄膜在衬底的附着力更强.; 郭德成李双阎梦泽赵艳春李之杰; 关键词：类金刚石薄膜离子束辅助沉积分子动力学模拟

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阎梦泽