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王超

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室更多>>
发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家高技术研究发展计划深圳市科技计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇正交
  • 1篇正交实验
  • 1篇正交实验法
  • 1篇碳膜
  • 1篇气相沉积
  • 1篇摩擦磨损性能
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石碳膜
  • 1篇ECR-CV...

机构

  • 1篇深圳大学
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇毛斐
  • 1篇谷坤明
  • 1篇汤皎宁
  • 1篇虞烈
  • 1篇王超

传媒

  • 1篇润滑与密封

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ECR-CVD制备类金刚石碳膜的正交实验法研究被引量：1
2011年
采用系统的正交实验法对ECR-CVD法沉积类金刚石碳膜(DLC)的优化工艺进行研究,并分析不同工艺参数对DLC膜性能的影响。共选择基片温度、H2流量、微波功率、直流偏压、脉冲偏压以及脉冲偏压占空比6个参数建立起6因素5水平的正交表,分别以薄膜摩擦因数、磨损率、显微硬度、拉曼谱中D峰与G峰的面积比ID/IG作为考察对象进行研究。极差分析表明,对不同的考察因素其优化工艺略有区别。在所选的参数范围内,脉冲偏压对所测量的DLC膜的性能影响最大。
谷坤明王超毛斐虞烈汤皎宁
关键词：气相沉积类金刚石碳膜正交实验摩擦磨损性能
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