汪志键
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：哈尔滨工业大学材料科学与工程学院先进焊接与连接国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- 等离子浸没离子注入陡脉冲前后沿高压脉冲电源技术
- 等离子浸没离子注入技术避免了传统束线离子注入"视线性"缺点,适合处理复杂形状的工件,成为一种常用的表面处理方法。由于电路和等离子体负载容性效应,脉冲电压波形具有很长的上升下降前后沿。这对注入离子能量均一性影响很大,从而影...
- 朱宗涛巩春志汪志键杨士勤田修波
- 关键词：高压脉冲
- 文献传递
- 等离子浸没离子注入陡脉冲前后沿效应及控制技术
- 2010年
- 等离子浸没离子注入过程中,由于电路和负载的容性效应,使高压脉冲电源的输出电压前后沿较长,而高压脉冲的前后沿对离子能量的均匀性、注入深度及剂量分布都有很大影响。本文用硬管调制技术研制最高输出电压40 kV的脉冲电源,并通过一维PIC仿真方法,研究了脉冲后沿对注入离子能量的影响,并从理论上计算不同工艺参数下电源输出电能的利用率。对于前沿,当高压电子管一栅电压为200 V时,获得1μs的高压脉冲前沿时间。对于后沿,用多个IGBT开关串联释放高压脉冲关断后负载上存储的剩余电荷,获得较小的回复时间,实现了对高压脉冲拖尾时间控制。通过PSPICE仿真优化了脉冲后沿控制电路的驱动延迟时间和IGBT吸收电路的参数。
- 朱宗涛桂刚汪志键巩春志杨士勤田修波
- 关键词：高压脉冲电源
