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徐佳

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：博士后科研启动基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 4篇激光
  • 3篇光刻
  • 2篇激光光束
  • 2篇光束
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体刻蚀
  • 1篇调制
  • 1篇液面
  • 1篇抑菌
  • 1篇抑菌作用
  • 1篇应用环境
  • 1篇阵列
  • 1篇阵列结构
  • 1篇入射
  • 1篇入射角
  • 1篇软光刻
  • 1篇双周期
  • 1篇涂胶
  • 1篇准直
  • 1篇弯月面

机构

  • 6篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 6篇徐佳
  • 5篇许文斌
  • 5篇刘建卓
  • 5篇张红鑫
  • 5篇许家林
  • 5篇王泰升
  • 5篇王鹤
  • 1篇刘正坤
  • 1篇卢振武
  • 1篇洪义麟
  • 1篇鱼卫星
  • 1篇许文斌
  • 1篇卜和阳

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 2篇2020
  • 3篇2018
  • 1篇2017
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
米级弯月面化学薄膜涂覆装备的研制
2017年
弯月面化学涂膜技术因其具有大面积、低成本以及高效率等优势成为继旋涂、喷涂等传统涂膜工艺后极具发展潜力的新型化学薄膜涂覆技术。本文针对国家某重大项目对米级光学元件表面的化学薄膜涂覆需求,对基于弯月面涂胶的技术原理进行了系统研究,分析了涂胶压强、基片和狭缝间距以及材料亲疏水性与涂胶面形态的关系,实现了对弯月液面的精密调控并研制出基于弯月面化学薄膜涂覆技术的装备,在1 400mm×420mm尺寸玻璃基片上实现了光刻胶的均匀涂覆,使整体胶膜厚度误差<4%,满足了米级元件表面精密化学薄膜的涂覆需求。
徐佳许文斌卜和阳卢振武刘正坤洪义麟鱼卫星
关键词：弯月面涂胶光学元件
一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统及其制备方法
本发明提供了一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统及其制备方法。所述系统包括：固体激光器、光束整形器、光束扩束器、光束分束器、光束调整及能量控制组件、二维位移样品台和计算机；所述固体激光器发出激光光束后，所述激光光束依次...
张红鑫许文斌徐佳王泰升蔺春波王鹤刘建卓许家林
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采用激光干涉光刻技术制作无调制阵列结构的方法及系统
本发明实施例公开了一种采用激光干涉光刻技术制作无调制阵列结构的系统及相应的方法。该系统利用激光作为发光光源，通过整形、准直、分束形成三束相干光束，这三束相干光束在基片平面汇聚、干涉，使得光强在干涉场内重新分布，从而很容易...
徐佳张红鑫王泰升许文斌蔺春波王鹤刘建卓许家林
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一种接触屏及其制备方法
本发明提供了一种接触屏及其制备方法。本发明提供的一种接触屏的制备方法，包括步骤：S01、利用自组装的方式，在基片表面镀膜；S02、通过高温加热并退火，在基片表面形成金属纳米颗粒层，所述金属纳米颗粒的特征尺寸为10nm‑1...
张红鑫王泰升许文斌徐佳蔺春波王鹤刘建卓许家林
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一种双周期结构制备系统及方法
本发明提供的双周期结构制备系统及方法，利用激光经过扩束整形以及调控后得到的六束相干光，在样品表面汇聚形成干涉场，使得激光光强在干涉场内重新分布，材料表面形成具有周期性双周期结构图形，在进行光刻时，可以无需掩模而直接或者间...
徐佳张红鑫王泰升许文斌蔺春波刘建卓王鹤许家林
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基于软光刻的复合微纳结构抑菌薄膜制备系统及制备方法
本发明提供了一种基于软光刻的复合微纳结构抑菌薄膜制备系统及其制备方法。所述基于软光刻的复合微纳结构抑菌薄膜制备系统，包括：计算机、激光光源、激光光束整形器、激光扩束器、光刻图形生成器、光刻投影镜头、样品平台及平台运动控制...
张红鑫徐佳王泰升许文斌蔺春波王鹤刘建卓许家林
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