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彭国强

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：海南大学材料与化工学院海南省特种玻璃重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇光电
  • 1篇光电性
  • 1篇光电性能
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇海南大学

作者

  • 1篇汪国庆
  • 1篇姜宏
  • 1篇丁春华
  • 1篇彭国强
  • 1篇冯建

传媒

  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
氩气流量对多元掺杂ZnO薄膜性能的影响被引量：1
2016年
采用射频磁控溅射的方法在玻璃基底上用掺杂浓度为1%(质量分数)Al_2O_3,1%(质量分数)SiO2,1%(质量分数)石墨烯的陶瓷靶材制备出了多元掺杂氧化锌(ZnO∶Al∶Si∶GNP,GASZO)透明导电薄膜。利用XRD、SEM、四探针测试仪、紫外-可见分光光度计对薄膜的性能进行了表征和分析,研究了不同氩气流量(工作压强保持不变)对薄膜的结构、形貌及光电性能的影响。结果表明,所制备的薄膜均具有呈c轴择优取向的纤锌矿结构;当氩气流量为70sccm时,薄膜的电阻率最低为11.47×10^(-4)Ω·cm。所有薄膜样品在可见光波段的平均透过率超过91%。
段光申丁春华姜宏汪国庆彭国强冯建
关键词：射频磁控溅射光电性能
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