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唐亮

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：吉林市计量测试技术研究所更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇探测器
  • 1篇退火
  • 1篇热退火
  • 1篇紫外光电探测...
  • 1篇光电
  • 1篇光电探测
  • 1篇光电探测器
  • 1篇氮
  • 1篇铝
  • 1篇镓
  • 1篇MSM结构

机构

  • 1篇空军航空大学
  • 1篇吉林市计量测...

作者

  • 1篇赵曼
  • 1篇李健
  • 1篇唐亮
  • 1篇王嘉

传媒

  • 1篇长春理工大学...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
热退火对氮铝镓MSM结构紫外光电探测器性能的影响被引量：1
2011年
宽带隙半导体合金材料AlxGa1-xN成为紫外光电探测器的优选材料,本文通过金属有机气相外延(MOCVD)的方法在Al2O3衬底上制备出Al0.25Ga0.75N合金薄膜,并通过紫外曝光和湿法腐蚀的方法,制备出平面对称结构的金属-半导体-金属(MSM)叉指电极结构,通过器件在氮气气氛下不同温度的退火,使得器件的响应度得到很大的提高,在1V偏压下达到3.25A/W,同时对器件的其它参数进行了深入的分析。
邢大林赵曼唐亮王嘉李健
关键词：光电探测器热退火
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