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李元生
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相关领域:
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合作作者
赵丹
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陈彦青
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杨中元
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金谋平
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金谋平
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李元生
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赵丹
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电子工艺技术
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2013
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等离子喷涂制备Al_2O_3块体材料的介电性能
2013年
将两种纯度较高的Al2O3粉末采用等离子喷涂工艺制备成块体,其孔隙率分别达到11.2%和11.6%。用等离子喷涂工艺制备的Al2O3块体在7 GHz^18 GHz下的介电常数εr分别是7.2和7.1,介电损耗tanδ分别是3.5×10-3和1.0×10-3。用这种工艺制备的Al2O3块体的介电常数比常规压制烧结工艺制备的低,但是介电损耗大,这主要与等离子喷涂工艺所制备样品的孔隙率和微结构等有关。
李元生
杨中元
赵丹
金谋平
陈彦青
关键词:
等离子喷涂
介电常数
介电损耗
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