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许迪

作品数:2 被引量:0H指数:0
供职机构:重庆科技学院电子信息工程学院更多>>
发文基金:重庆市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇碳纳米管
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米管
  • 1篇碳纳米管生长
  • 1篇气相生长
  • 1篇微加工
  • 1篇微加工工艺
  • 1篇FIB

机构

  • 2篇重庆科技学院
  • 2篇重庆光电技术...
  • 1篇清华大学
  • 1篇中国石油天然...

作者

  • 2篇向毅
  • 2篇江永清
  • 2篇吴英
  • 2篇许迪
  • 1篇周兆英
  • 1篇杨兴
  • 1篇李斌
  • 1篇聂洪彬
  • 1篇方泽佳

传媒

  • 2篇半导体光电

年份

  • 2篇2009
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
基于碳纳米管的微纳单元的实验研究
2009年
利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了"管压电极"和"电极压管"的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可以加工出具有欧姆接触或者是肖特基接触的微纳单元,但"管压电极"工艺具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳单元的集成化制备工艺提供了新的思路。
江永清吴英向毅周兆英杨兴许迪方泽佳
关键词:碳纳米管生长微加工工艺
基于FIB技术的微纳单元的研制
2009年
利用碳纳米管表面气相生长技术和聚焦离子束(FIB)加工等微纳加工技术,开展了微纳单元的工艺方法研究,探索了基于碳纳米管的微纳结构单元的实验制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这种制备工艺可以加工出具有欧姆接触或肖特基接触的微纳单元,为基于碳纳米管的微纳单元的制作提供了一定的思路。
吴英江永清李斌向毅许迪聂洪彬
关键词:碳纳米管气相生长FIB
共1页<1>
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