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许迪
作品数:
2
被引量:0
H指数:0
供职机构:
重庆科技学院电子信息工程学院
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发文基金:
重庆市自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴英
重庆科技学院电子信息工程学院
江永清
重庆光电技术研究所
向毅
重庆科技学院电子信息工程学院
方泽佳
重庆科技学院
聂洪彬
重庆科技学院电子信息工程学院
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2篇
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电子电信
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碳纳米管
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纳米
2篇
纳米管
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碳纳米管生长
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气相生长
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微加工
1篇
微加工工艺
1篇
FIB
机构
2篇
重庆科技学院
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重庆光电技术...
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清华大学
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中国石油天然...
作者
2篇
向毅
2篇
江永清
2篇
吴英
2篇
许迪
1篇
周兆英
1篇
杨兴
1篇
李斌
1篇
聂洪彬
1篇
方泽佳
传媒
2篇
半导体光电
年份
2篇
2009
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基于碳纳米管的微纳单元的实验研究
2009年
利用碳纳米管生长技术和微加工技术,开展了微纳单元的实验方法研究,探索了"管压电极"和"电极压管"的微纳单元制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这两种工艺均可以加工出具有欧姆接触或者是肖特基接触的微纳单元,但"管压电极"工艺具有过程简单、成本低等特点,为基于碳纳米管的微纳单元的集成化制备工艺提供了新的思路。
江永清
吴英
向毅
周兆英
杨兴
许迪
方泽佳
关键词:
碳纳米管生长
微加工工艺
基于FIB技术的微纳单元的研制
2009年
利用碳纳米管表面气相生长技术和聚焦离子束(FIB)加工等微纳加工技术,开展了微纳单元的工艺方法研究,探索了基于碳纳米管的微纳结构单元的实验制备工艺。结构表征和电学特性测试结果表明,这种制备工艺可以加工出具有欧姆接触或肖特基接触的微纳单元,为基于碳纳米管的微纳单元的制作提供了一定的思路。
吴英
江永清
李斌
向毅
许迪
聂洪彬
关键词:
碳纳米管
气相生长
FIB
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