王波
- 作品数:1 被引量:0H指数:0
- 供职机构:南京林业大学机械电子工程学院更多>>
- 发文基金:江苏省研究生培养创新工程项目国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程更多>>
- CrSiCN薄膜的力学性能及水润滑特性研究
- 2016年
- 运用非平衡磁控溅射技术,通过改变硅烷的流量,在Si(100)和316L不锈钢片基材上沉积不同元素含量的CrSiCN四元薄膜;运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和纳米压痕仪分别研究薄膜的结构、表面形貌和纳米硬度;运用球-盘摩擦磨损试验机研究水润滑下CrSiCN薄膜与Al_2O_3小球对摩的摩擦学特性。结果表明:由于固溶强化和纳米复合结构的形成,CrSiCN薄膜在硅烷流量为10 sccm获得最大硬度19.3 GPa和最大弹性模量306.9 GPa,继续增加硅烷流量,由于薄膜结构向非晶态转变,薄膜硬度降低;硅烷流量为10 sccm得到的薄膜CrSiCN具有最低的摩擦因数0.24,随着硅烷流量的增加,由于硬度的降低和过量非晶相的形成,薄膜抗磨性能降低,摩擦因数波动较大。
- 王波吴志威高宋周飞
- 关键词:水润滑力学性能