王子松
- 作品数：3 被引量：24H指数：2
- 供职机构：四川大学化学工程学院更多>>
- 相关领域：化学工程金属学及工艺更多>>
- 氢热等离子体还原四氯化硅制备三氯氢硅的能耗分析被引量：8
- 2011年
- 利用40 kW直流氢热等离子体氢化还原改良西门子(Siemens)法生产多晶硅工艺的副产物SiCl4,制备了SiHCl3(Trichlorosilane,TCS)。在等离子体放电功率和H2体积流量不变的条件下,考察了n(H2):n(SiCl4)摩尔比对SiHCl3单程收率和单位产品能耗的影响。结果表明:当n(H2):n(SiCl4)=3.5时,SiHCl3最高单程收率可达62.1%,但其单位产品能耗较高[3.83(kW·h)/kg(TCS)];当n(H2):n(SiCl4)=2时,SiHCl3单程收率为41.5%,单位产品能耗最低为3.21(kW·h)/kg(TCS)。根据热等离子体相关理论以及实验结果,对热等离子体氢化SiCl4反应机理进行分析,提出可通过改善反应器结构、调控进料比例和优化反应工艺等方式进一步降低单位产品能耗。
- 黄志军覃攀吴青友李育亮王子松尚书勇戴晓雁印永祥
- 关键词：四氯化硅热等离子体三氯氢硅多晶硅能耗
- 热等离子体焙烧石英砂的铸造特性被引量：1
- 2011年
- 利用热等离子体对铸造用石英砂进行高温焙烧,并对焙烧样品的铸造特性如耗酸值、发气量、角形系数、耐火度、型砂强度等进行了检测。与天然气焙烧的石英砂相比,等离子体高温焙烧大大提高了石英砂作为铸造型砂的性能,耗酸值降低,发气量减少,角形系数降低,抗弯强度提高等,特别是等离子体焙烧使石英砂的耐火度高于1 790℃,超出了标准检测极限。
- 雷雳光王子松彭耀东印永祥
- 关键词：石英砂耐火度
- 西门子CVD还原炉内硅棒生长环境的数值模拟被引量：15
- 2012年
- 考虑包括热辐射在内的质量传递、动量传递、热量传递三维模型,利用流体力学计算软件,对18对棒西门子多晶硅CVD还原炉实际情况进行数值模拟。考察了两种进气方式下还原炉内的流场和温度场分布。计算结果表明,为了实现硅棒均匀沉积,与底盘上分散进气、中心集中出气的还原炉结构相比,中心集中进气、中环与外环之间分散出气的流场及温度场分布更为合理。后者可能有效避免气体在进出口间的"短路"现象,又使炉内各处温度分布更为均匀,减小硅棒不均匀生长现象。模拟结果还表明,采用典型工况的数据,还原炉中总能量损失占能量输入的78.9%,辐射热损失占总能量损失的70.9%,产品单位质量能耗为72.8 kWh./kg-1,与很多其他研究结果及实际相一致。
- 王子松黄志军覃攀雷雳光印永祥戴晓雁
- 关键词：计算流体力学多晶硅辐射热传递
