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曹健
作品数:
42
被引量:19
H指数:3
供职机构:
中国电子科技集团第十三研究所
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
文化科学
金属学及工艺
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合作作者
何美林
中国电子科技集团第十三研究所
刘亚男
中国电子科技集团第十三研究所
胡志富
中国电子科技集团第十三研究所
李静强
中国电子科技集团第十三研究所
冯彬
中国电子科技集团第十三研究所
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2007
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红外测量技术在MOCVD中的应用
被引量:4
2007年
简要说明了红外辐射测量技术的工作原理与理论基础以及红外测量的特点。MOCVD硅片外延生长过程中反射率是实时变化的,但传统红外测量方法无法实现反射率的实时测量,因此造成较大的测量误差,无法准确反应外延片的表面温度,同时无法实现对生长速率的在位测量。德国AIXTRON公司的MOCVD测量系统中加入了由脉冲信号控制的LED红外发光器件,实现了温度与反射率、生长速率与膜厚的在位实时测量,从而达到对温度和膜厚的精确控制,取得良好的实验效果。
路孟喜
曹健
关键词:
红外辐射
温度测量
金属有机物化学气相淀积
新型在片S参数误差校准方法和装置
本发明适用于太赫兹在片测量技术领域,提供了一种新型在片S参数误差校准方法和装置。该方法包括:在测试系统未连接探针时,在波导端面进行二端口校准;在测试系统连接所述探针时,在两个探针端面分别进行一端口校准;在被测件的衬底上制...
吴爱华
李冲
刘晨
王一帮
付兴昌
梁法国
田秀伟
刘亚男
曹健
一种提取GaNHEMT器件电热模型参数的方法及夹具
本发明公开了一种提取GaN HEMT器件电热模型参数的方法,涉及GaN HEMT等效电路大信号建模技术领域;包括:将GaN HEMT器件安装到夹具上,夹具安装在红外热像仪上;对GaN HEMT器件施加偏置电压,使GaN ...
李静强
胡志富
刘亚男
彭志农
冯彬
杜光伟
曹健
何美林
吸擦一体式擦头装置
本发明提供了一种吸擦一体式擦头装置,包括吸盘主体和吸盘芯,吸盘主体上表面设有用于容纳研磨液的第一环形凹槽,第一环形凹槽的底部设有第一研磨液排出孔,安装圆台的中心设有第一通气孔;吸盘芯安装在吸盘主体的下表面;吸盘芯具有与第...
刘炳义
王秀海
文黎波
赵英伟
吴爱华
郝晓亮
秦天
马培圣
张文雅
曹健
真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机
本发明提供了一种真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机,属于半导体技术领域,包括:轴套、内套筒、轴承以及分体端盖,轴套具有上连接段和下连接段,上连接段内的上通孔的孔径大于下连接段的下通孔的孔径,上通孔和下通孔的相接处构成...
曹健
赵英伟
郝晓亮
王秀海
马培圣
张文雅
文黎波
吴爱华
太赫兹在片散射参数测量校准件
本实用新型公开了一种太赫兹在片散射参数测量校准件,涉及太赫兹器件散射参数测试装置技术领域。所述校准件包括衬底,所述衬底的上表面制作有一个直通标准件、一个反射标准件和至少一个传输线标准件,所述衬底的下表面制作有背面金属层,...
刘亚男
胡志富
杜光伟
李静强
冯彬
彭志农
何美林
曹健
文献传递
水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法
本申请适用于集成电路测试设备和仪器技术领域,提供了水浸式超声扫描显微镜样品传送装置及控制方法,该装置包括:承片台、滑车、导轨、导轨支架、推拉驱动机构、液体槽和底板;底板设置在液体槽的底壁上,导轨支架设置于底板上,导轨设置...
赵英伟
张文朋
曹健
秦天
吴爱华
张辉
任泽生
王峻澎
程壹涛
用于太赫兹有源器件的神经网络建模方法
本发明公开了一种用于太赫兹有源器件的神经网络建模方法,涉及太赫兹器件建模方法技术领域。所述方法在单纯神经网络建模的基础上加上空间映射的方法,将粗模型的输入电压通过神经网络映射到最终的精确模型的输入电压,由太赫兹有源器件的...
杜光伟
胡志富
刘亚男
李静强
冯彬
彭志农
何美林
曹健
文献传递
扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法
本发明提供了一种扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法,属于机械制造技术领域,包括:底座、隔离条、磁开关以及盖板,隔离条嵌设于底座上;磁开关设置于底座的腔体内,隔离条位于腔体内;磁开关包括旋转板和两块磁铁,旋转板上设有两个用于放...
马培圣
王秀海
赵英伟
吴爱华
栾鹏
郝晓亮
曹健
文黎波
贾宜萱
焊接波纹管漏点检测装置
本发明提供了一种焊接波纹管漏点检测装置,包括上固定板、下固定板、连杆机构、压紧机构及抽放气管路;上固定板底面上可拆卸连接有多条间隔设置的上环形密封圈;下固定板顶面上可拆卸连接有多条间隔设置的下环形密封圈;连杆机构包括连接...
王秀海
马培圣
郝晓亮
曹健
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