唐绍根
- 作品数：5 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 100nm超浅结制作工艺研究被引量：3
- 2007年
- 在对深亚微米技术的探索中,通过实践,得到了100 nm以下N型高掺杂浓度超浅结的工艺流程。介绍了采用低能量离子注入技术结合快速热退火技术制作超浅结的方法,并对需要考虑的沟道效应及瞬态增强扩散效应进行了机理分析。
- 王学毅徐岚唐绍根
- 关键词：超浅结快速热退火离子注入沟道效应
- 一种热壁LPTEOS设备自动供液系统被引量：3
- 2019年
- 介绍了一种自主开发的自动供液系统。该系统适用于多台SVG7000热壁LPTEOS立式炉。详细介绍了系统的结构、原理及动作流程等。与传统的自动供液系统相比,该系统增加了多回路控制,优化了自动供液的时间,可同时控制多台设备,并保持每次运行程序前设备液态源液位一致。对使用该系统前后设备运行的数据进行对比,发现该自动供液系统将立式炉的稳定性提升了10%以上。
- 李海燕唐绍根李文李志成崔伟
- 关键词：立式炉稳定性
- 一种提高离子注入剂量控制精度的方法和系统
- 本发明公开了一种提高离子注入剂量控制精度的方法和系统，其中，所述方法包括：获取束流束斑的径向分布；根据所述束斑的径向分布，计算束斑质心到靶盘中心的距离，即束斑的质心值R；根据公式<Image file="DDA00020...
- 唐绍根黄磊邓建国
- 文献传递
- 一种提高离子注入剂量控制精度的方法和系统
- 本发明公开了一种提高离子注入剂量控制精度的方法和系统，其中，所述方法包括：获取束流束斑的径向分布；根据所述束斑的径向分布，计算束斑质心到靶盘中心的距离，即束斑的质心值R；根据公式<Image file="DDA00020...
- 唐绍根黄磊邓建国
- 文献传递
- 用于离子注入机剂量控制器的质心修正算法
- 2019年
- 针对圆盘式全机械扫描注入机,分析了传统束斑中心算法的缺陷和问题,提出质心的概念来表征束斑的分布,并提出了一种用于注入机剂量控制器的质心修正算法。对这两种算法进行分析、仿真和验证。结果表明,采用质心修正算法后,有效解决了束斑的不同分布对注入剂量精度、片间均匀性和批次间重复性的影响。
- 唐绍根李海燕邹昭伟刘登华
- 关键词：离子注入机
