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董国建
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
辽宁工业大学材料科学与工程学院
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发文基金:
辽宁省自然科学基金
辽宁省高校创新团队支持计划
教育部科学技术研究重点项目
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
唐立丹
辽宁工业大学材料科学与工程学院
王冰
辽宁工业大学材料科学与工程学院
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1篇
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金属学及工艺
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退火
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TIO2薄膜
1篇
TIO_2薄...
1篇
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磁控
1篇
磁控溅射
机构
1篇
辽宁工业大学
作者
1篇
王冰
1篇
唐立丹
1篇
董国建
传媒
1篇
金属热处理
年份
1篇
2016
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磁控溅射TiO_2薄膜的相结构转变温度
被引量:2
2016年
利用射频磁控溅射制备了TiO_2致密薄膜,并通过退火实现TiO_2的相转变,采用扫描电镜,X射线衍射等手段对薄膜相结构进行表征并做了详细的分析。结果表明,退火后TiO_2薄膜结构致密,表面呈现出大小均匀的纳米晶粒。400℃退火时,TiO_2薄膜为单一的锐钛矿相,500~600℃退火时为锐钛矿和金红石混合相,700℃以上退火时则完全转变为金红石相。
梅海林
唐立丹
王冰
董国建
关键词:
磁控溅射
TIO2薄膜
退火
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