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王彦吨

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国中煤国际工程集团武汉设计研究院更多>>
发文基金：湖北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇理论与实验研...
  • 1篇半导体

机构

  • 1篇华中科技大学
  • 1篇中国中煤国际...

作者

  • 1篇郑英
  • 1篇王彦吨

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
半导体混合产品批间控制的理论与实验研究
2008年
提出了用一种半导体工业用双产品模型来研究基于机台和基于产品的控制方法。在此基础上,得到了闭环系统的输出,评估了控制性能。由于NH3的挥发类似于半导体工业的机台漂移,因此对纳米级SiO2粒子进行了实验研究。在氨溶液挥发的影响下制造不同大小的SiO2粒子,以模拟在机台干扰下生产不同产品。实验研究证实了理论结果,即基于机台的方法有时不稳定,而基于产品的方法是稳定的。
郑英王彦吨
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