严钦云
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：湖南工业大学理学院更多>>
- 发文基金：湖南省教育厅科研基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 薄膜厚度对Al掺杂ZnO薄膜性能的影响被引量：1
- 2011年
- 采用直流磁控溅射技术,以氧化锌铝陶瓷靶为靶材,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜样品。在其他参数不变的情况下,由不同溅射时间得到了不同厚度的薄膜,研究了薄膜的结构性质、电学和光学性质随薄膜厚度的变化关系。实验结果表明:在薄膜厚度为500 nm时,ZAO薄膜具有最优化的光电性能,电阻率为1.68×10-3Ω.cm,可见光区平均透射率为90.3%。
- 李雪勇严钦云崔丽玲
- 关键词：ZAO薄膜薄膜厚度电学性能光学性能
- 退火温度对Al掺杂ZnO薄膜结构和性能的影响被引量：2
- 2011年
- 采用直流磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜样品。其他参数不变,在不同的温度下对样品进行了退火处理,研究了薄膜的结构性质、电学和光学性质随退火温度的变化关系。实验结果表明:在退火温度为200℃时,ZAO薄膜具有较优的光电性能,其电阻率为9.62×10-5.cm,可见光区平均透射率为89.2%。
- 李雪勇崔丽玲严钦云
- 关键词：ZAO薄膜退火温度电学性能光学性能
