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张雄藩
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1
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供职机构:
西安工业大学北方信息工程学院
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相关领域:
理学
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合作作者
邱文旭
西安工业大学北方信息工程学院
韩娟
西安工业大学北方信息工程学院
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2011
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Li掺杂对ZnO薄膜发光特性的影响
2011年
为研究碱金属Li掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能,利用射频磁控溅射法(RF)在si基片上制备ZnO薄膜和Zn1-LixO薄膜,通过x射线衍射、原子力显微镜和光致发光对薄膜进行测试.研究结果表明:基片温度为450℃时,(002)峰成为薄膜的主要衍射峰;掺入碱金属Li后,薄膜表面颗粒依然均匀;Li掺杂量在5%~15%变化时,带间跃迁峰发生明显红移现象,各发光峰的强度呈抛物线形式变化.
邱文旭
韩娟
张雄藩
关键词:
磁控溅射
光致发光
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