张学谦
- 作品数:2 被引量:51H指数:2
- 供职机构:清华大学机械工程学院机械工程系更多>>
- 发文基金:清华大学自主科研计划国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学机械工程电子电信更多>>
- 飞秒激光参数对石英玻璃微孔加工的影响被引量:33
- 2015年
- 微孔加工是微器件加工中的重要环节,飞秒激光的强烈非线性吸收和"冷加工"特性使其在玻璃微纳加工方面有独特的优势和应用前景。选用石英玻璃作为试验材料,研究飞秒激光参数对微孔深径比及形貌的影响。结果表明,飞秒激光脉冲能量、打孔速度对微孔深径比存在较大影响。随着激光能量和打孔速度的增加,微孔深径比均呈现减小趋势。通过选择适当参数,可以获得深径比大于25∶1且孔形较好、无明显裂纹的长直微孔。为了获得更好的聚焦效果,采用倍频晶体BBO获得了400 nm波长的飞秒激光。用相同聚焦透镜时400 nm飞秒激光加工的微孔比800 nm更小。此外,也对飞秒激光微孔加工中常见的缺陷进行了分析。
- 邢松龄刘磊邹贵生张学谦白海林Y N Zhou
- 关键词:超快光学飞秒激光微孔加工石英玻璃倍频
- 带热障涂层的高温合金飞秒激光旋切打孔被引量:18
- 2017年
- 针对燃气轮机叶片气膜孔传统加工方法存在的缺陷,采用飞秒激光旋切带热障涂层的高温合金加工气膜孔,获得了无裂纹、无附着残渣及无重铸层的锥孔。结合飞秒激光加工过程中材料的去除机理,分析得出:等角速度旋切造成的孔锥度较大;材料的去除过程为绝热冷却过程,即与周边材料几乎没有热交换,未发生基体材料熔化后重新凝固形成重铸层的过程。然而,在孔的入口发现黑色附着物,随着加工次数的增加,逐步覆盖整个入口边缘的部分。试验过程中可收集到含有镍、锆、氧等元素的纳米颗粒,证明被去除的材料通过液相爆破的方式以纳米颗粒的形式快速离开基体,从而解释了加工后在孔壁未发现大量附着残渣粘连的原因。相对于低速单层旋切,高速多层旋切加工效率更高。
- 张学谦邢松龄刘磊李勇李勇佟浩
- 关键词:激光制造激光加工热障涂层