孙斌
- 作品数:3 被引量:2H指数:1
- 供职机构:西安科技大学理学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金中国博士后科学基金陕西省自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 多层膜结构声表面波传播理论研究进展
- 近年来,基于压电多层膜结构声表面波器件得到了广泛的关注和研究,尤其在电予工程及通信技术等领域得到广泛应用。本文研究基于多层膜的声表面波器件传播理论,介绍了声表面波场理论的声表面波传播特性的主要计算方法,包括传递矩阵法,表...
- 孙斌张涛
- 关键词:声表面波器件压电材料
- 文献传递
- 多层膜结构声表面波传播理论研究进展
- 近年来,基于压电多层膜结构声表面波器件得到了广泛的关注和研究,尤其在电子工程及通信技术等领域得到广泛应用.本文研究基于多层膜的声表面波器件传播理论,介绍了声表面波场理论的声表面波传播特性的主要计算方法,包括传递矩阵法,表...
- 孙斌张涛
- 关键词:电子技术声表面波器件
- 文献传递
- 硅基三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与研究被引量:2
- 2012年
- 利用磁控溅射方法在单晶Si基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%PZT(6%Pb(Mn1/3,Nb2/3)O3-94%Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3),采用淬火方法对薄膜进行处理,以促进薄膜钙钛矿结构形成。同时,在相同条件下制备非掺杂PZT(52/48)薄膜以对比薄膜掺杂效果。运用X射线衍射(XRD)技术分析薄膜晶向及晶体结构,运用Sawyer Tower电路测试薄膜铁电性能,运用激光测振仪测试薄膜的压电系数。实验结果表明,所沉积薄膜为多晶钙钛矿结构铁电薄膜,薄膜铁电剩余极化Pr=23.7μC/cm2,饱和极化Ps=40μC/cm2,矫顽场电压2Ec=139kV/cm,横向压电系数e11=-13.2C/m2,薄膜的铁电及压电性能优良。
- 张涛张淑仪李敏周胜男孙斌
- 关键词:铁电性能压电性能