金钊
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
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- 相关领域：机械工程理学更多>>
- 应用软磨料磨削的单晶硅超精密制造技术
- 在分析软磨料砂轮化学机械磨削(CMG)技术的基础上,开发研制了主料分别为Fe2O3和MgO的杯型软磨料砂轮。利用开发的两种软磨料砂轮对Ф300 mm的单晶硅光学表面进行纳米级精度的对比磨削加工,优选出最佳磨削参数,将CM...
- 金钊伏瑞敏张继友徐领娣康仁科
- 关键词：硅表面粗糙度
- 文献传递
- 柱面透镜准直LD光场的计算建模方法研究被引量：1
- 2012年
- 为了简化LD光场准直柱面透镜繁琐的理论设计过程,便于进行实际操作,利用Matlab计算建模的方法,计算理想准直柱面透镜上的各个离散点的坐标值,通过拟合或二次曲面方程逼近的方法来获得准直柱面透镜的面型参数。分析表明,二次曲面柱面透镜非常适合做半导体激光器的准直透镜,可以根据具体需要来选择相应的面型。相比于其他方法,该方法简单直观,易于设计和加工,参数的优化调整迅速,可以根据加工工艺的难易程度来选择合理的透镜参数。
- 孟晓辉张继友郭文王永刚金钊
- 关键词：半导体激光器二次曲面
- X射线散射法测量超光滑平面
- 2011年
- 介绍了掠入射X射线散射法(GXRS法)测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。以3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,分别应用一级矢量微扰理论和改进的Harvey-Shack理论对其散射分布进行处理,所得结果与原子力显微镜测量结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,随着探测器接收狭缝宽度和入射光发散度的减小,测量误差呈指数迅速减小。在所测量的空间频率范围内,功率谱密度(PSD)函数的误差随频率的增加而减小。
- 王永刚伏瑞敏孟晓辉徐领娣金钊
- 关键词：功率谱密度
- 应用软磨料磨削的单晶硅超精密制造技术被引量：4
- 2011年
- 在分析软磨料砂轮化学机械磨削(CMG)技术的基础上,开发研制了主料分别为Fe2O3和MgO的杯型软磨料砂轮。利用开发的两种软磨料砂轮对Ф150mm的单晶硅光学表面进行纳米级精度的对比磨削加工,优选出最佳磨削参数,将CMG的结果与金刚石砂轮磨削结果、化学机械抛光(CMP)结果进行对比研究,并对加工后工件的表面与亚表面损伤进行检测分析。结果表明,MgO软磨料砂轮具有十分稳定的磨削性能,能够获得较好的形状精度和表面亚表面质量,采用三维表面轮廓仪和原子力显微镜测量CMG后的工件表面分别得到0.568nmRMS和0.554nmRq的表面粗糙度,达到了CMP的加工效果,角度抛光法显示CMG后的工件亚表面损伤深度接近0。
- 金钊李锦胜康仁科张继友王永刚孟晓辉
- 关键词：硅表面粗糙度
