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曾伟

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学材料科学系国家微分析中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子显微镜
  • 1篇质谱
  • 1篇外延片
  • 1篇显微镜
  • 1篇离子
  • 1篇二次离子质谱
  • 1篇二极管
  • 1篇发光
  • 1篇发光二极管
  • 1篇INGAAL...

机构

  • 1篇复旦大学

作者

  • 1篇李越生
  • 1篇樊华
  • 1篇曹永明
  • 1篇曾伟

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
InGaAlP外延片的微分析
2005年
介绍了电子显微镜和二次离子质谱仪(SIMS)两种当前主要的微分析工具在四元InGaAlP发光二极管(LED)外延片分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用领域,指出两者有机的结合可以得到比较全面的分析结果,为工艺监控和工艺改进提供了参考。
樊华曹永明曾伟李越生
关键词：电子显微镜二次离子质谱发光二极管外延片
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共1页<1>
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