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孙宝云
作品数:
9
被引量:4
H指数:1
供职机构:
西北工业大学
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发文基金:
国家重大科学仪器设备开发专项
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相关领域:
自动化与计算机技术
理学
机械工程
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合作作者
邓进军
西北工业大学
马炳和
西北工业大学
罗剑
西北工业大学
苑伟政
西北工业大学
姜澄宇
西北工业大学
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2022
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2021
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2020
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2019
1篇
2018
1篇
2017
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柔性热膜剪应力微传感器水下静态标定系统
本发明涉及一种柔性热膜剪应力微传感器水下静态标定系统,包括:水源提供装置(1),大液面水压动力源(4),流量精确测量装置(6)和扁平矩形水槽(8);所述水源提供装置(1)与所述大液面水压动力源(4)通过溢水管道(2)和供...
马炳和
苑伟政
邓进军
罗剑
严宇超
孙宝云
王朋彬
文献传递
一种新型“三明治”结构柔性热膜微传感器及制作方法
本发明公开了一种新型“三明治”结构柔性热膜微传感器及制作方法,属于微机电系统(MEMS)领域。本发明采用顶层热敏单元5‑中间绝缘层3‑底层发热单元6的三层薄膜结构,顶层热敏单元5和底层发热单元6之间通过中间绝缘层3进行电...
马炳和
孙宝云
王朋彬
邓进军
罗剑
文献传递
高性能柔性热膜微传感器及其在流体壁面剪应力测量中的应用
边界层流动是流体力学研究中关注的重要基础问题之一,其中边界层的转捩和分离严重影响着飞行器的能耗、操控性、气动热和安全性。流体壁面剪应力作为精确研究掌握流体流经固体壁面摩擦阻力的物理量,是反映边界层流动特性的最直接参量之一...
孙宝云
关键词:
电阻温度系数
边界层
转捩
一种新型柔性剪应力与压力传感器结构和制作方法
本发明公开了一种新型柔性剪应力与压力传感器结构和制作方法,属于微机电系统(MEMS)领域。首先本发明可分别测量剪应力和压力。采用柔性基底,具有可弯曲扭转、曲面适应性等优点。首先将柔性基底贴附在玻璃片上,在上边先后分别溅射...
马炳和
王朋彬
孙宝云
罗剑
邓进军
文献传递
高性能柔性热膜微传感器及其在流体壁面剪应力测量中的应用
2022年
流体壁面剪应力作为精确研究掌握流体流经固体壁面摩擦阻力的物理量,是反映边界层流动特性的最直接参量之一,其准确有效测量可以为飞行器气动性能优化、边界层复杂流动机理研究提供关键数据支撑。壁面剪应力由于具有量值小、动态性高、流动结构特征尺度小的特点,国内外一直无有效测试手段。
孙宝云
马炳和(指导)
关键词:
微传感器
边界层流动
热敏式壁面剪应力微传感器技术研究进展
被引量:4
2017年
基于MEMS技术的热敏式微传感器为壁面剪应力的测量提供了重要手段。本文介绍了国内外热敏式壁面剪应力微传感器技术的研究发展现状,重点从硅基和柔性聚合物基2种结构角度,对其工作原理以及不同热敏式微传感器的结构、关键工艺和性能测试进行了分析。
孙宝云
马炳和
邓进军
姜澄宇
关键词:
MEMS
微传感器
测试技术
柔性热膜剪应力微传感器水下静态标定系统
本发明涉及一种柔性热膜剪应力微传感器水下静态标定系统,包括:水源提供装置(1),大液面水压动力源(4),流量精确测量装置(6)和扁平矩形水槽(8);所述水源提供装置(1)与所述大液面水压动力源(4)通过溢水管道(2)和供...
马炳和
苑伟政
邓进军
罗剑
严宇超
孙宝云
王朋彬
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一种新型“三明治”结构柔性热膜微传感器及制作方法
本发明公开了一种新型“三明治”结构柔性热膜微传感器及制作方法,属于微机电系统(MEMS)领域。本发明采用顶层热敏单元(5)‑中间绝缘层(3)‑底层发热单元(6)的三层薄膜结构,顶层热敏单元(5)和底层发热单元(6)之间通...
马炳和
孙宝云
王朋彬
邓进军
罗剑
文献传递
一种新型柔性剪应力与压力传感器结构和制作方法
本发明公开了一种新型柔性剪应力与压力传感器结构和制作方法,属于微机电系统(MEMS)领域。首先本发明可分别测量剪应力和压力。采用柔性基底,具有可弯曲扭转、曲面适应性等优点。首先将柔性基底贴附在玻璃片上,在上边先后分别溅射...
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