何立文
- 作品数：3 被引量：18H指数：2
- 供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院更多>>
- 发文基金：安徽省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 新型光刻技术研究进展被引量：15
- 2019年
- 集成电路光刻作为传统光刻技术的典型代表,支撑着集成电路芯片的快速发展。新一代光刻技术具有工艺多样化、光刻精度高、光刻效率高的优点,在研发新型光电子器件、实现3维微纳结构、构建有序纳米孔通道等方面有很大的潜力。回顾了近些年来涌现的多种新型光刻技术,分析了各自的特征及在新型纳米电子、光子器件、能源、传感等领域中的应用。对未来光刻技术的发展方向进行了展望。
- 何立文罗乐孟钢邵景珍方晓东
- 关键词：激光技术光学制造无掩模光刻
- 准分子激光微加工应用研究进展被引量：3
- 2018年
- 准分子激光加工技术基于光化学机制.准分子激光具有波长短、重复频率高、单脉冲能量大、输出光斑大且能量分布均匀等特点,在精准和高效微加工领域有着独特的优势.准分子激光微加工可以减小热影响区(Heat affected zone, HAZ),有效避免产生裂纹等缺陷,在材料精细加工领域有很好的应用前景。介绍了准分子激光微加工的研究进展,及准分子激光微加工应用于微电子集成电路封装、微机电系统(Micro-electro-mechanical system, MEMS)材料加工和生物医疗等领域的研究结果,总结了准分子激光微加工技术的发展趋势。
- 何立文方晓东
- 关键词：激光技术
- 沉积时间对脉冲激光沉积类金刚石膜的影响
- 2015年
- 用脉冲激光沉积法制备类金刚石膜的实验中,保持其它实验参数不变,沉积时间分别取15、20min和25min来沉积类金刚石膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测。检测结果表明,在其它实验参数不变的条件下,沉积时间从15min增加到20min时,薄膜中石墨晶粒数量或体积减小,sp3/sp2比值和薄膜密度明显增大,薄膜表面粗糙度显著降低。沉积时间从20min增加到25min时,薄膜中石墨晶粒数量或体积减小,但是sp3/sp2比值和薄膜密度都没有明显改变。
- 孙伟何立文仇冀宏罗乐蒋大鹏
- 关键词：脉冲激光沉积法类金刚石膜微观结构表面形貌
