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金银玉
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
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发文基金:
国家教育部博士点基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
唐光泽
哈尔滨工业大学材料科学与工程学...
李金龙
哈尔滨工业大学材料科学与工程学...
孙明仁
哈尔滨工业大学材料科学与工程学...
马欣新
哈尔滨工业大学材料科学与工程学...
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材料科学与工...
年份
1篇
2007
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等离子体基离子注入制备TiN膜的成分结构
被引量:6
2007年
采用Ti、N等离子体基离子注入和先在基体表面沉积纯钛层然后离子注氮混合两种方法在铝合金基体上制备了TiN膜.利用XPS分析了两种方法制备TiN薄膜的成分深度分布和元素化学价态,并用力学性能显微探针测试对比了TiN膜的纳米硬度.研究表明:两种方法制备的薄膜均由TiN组成,Ti、N等离子体基离子注入薄膜中Ti/N≈1.1,而离子注入混合薄膜中Ti/N≈1.3,Ti、N等离子体基离子注入薄膜表面区域为TiN和TiO2的混合组织,TiN含量多于TiO2,离子注入混合薄膜表面主要是TiO2;Ti、N等离子体基离子注入所制备的薄膜的纳米硬度峰值为12.26 GPa,高于离子注入混合的7.98 GPa.
李金龙
孙明仁
马欣新
唐光泽
金银玉
关键词:
等离子体基离子注入
TIN膜
XPS
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