毛薇
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：武汉理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国人民解放军总装备部预研基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术电气工程更多>>
- 退火温度对Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜结构及其性能的影响被引量：1
- 2009年
- 采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和微观形貌进行了表征,通过改变退火温度制得了具有单一钙钛矿结构的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜。然后将该薄膜与环氧树脂形成复合结构材料。对其铁电性能以及复合材料的阻尼性能进行了测试,结果表明,退火温度的升高有利于改善薄膜的铁电性能,在750℃下退火的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜,其剩余极化值2Pr达到了68.6μC/cm2,矫顽场强2Ec达到158.7kV/cm;同时退火温度的升高还有利于薄膜致密度的提高,对复合材料的阻尼性能也有一定的改善,当退火温度达到800℃,复合材料的阻尼损耗因子达到最大值,阻尼温域最宽,阻尼性能最好。
- 毛薇秦岩黄志雄付承菊郭冬云
- 关键词：退火温度铁电性能阻尼性能
- Sol-gel法制备Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3铁电薄膜被引量：1
- 2010年
- 利用Sol—gel工艺在Pt／Ti／SiO2／si衬底上制备了Pb（Zr0.53Ti0.47）O3（PZT）薄膜，研究了退火温度、保温时间和薄膜厚度对其晶相、微观结构和铁电性能的影响。在500℃退火处理的PZT薄膜开始形成钙钛矿相；在550℃退火处理的PZT薄膜基本形成钙钛矿相结构；升高退火温度（500-850℃）、延长保温时间（30～150min）、增加薄膜厚度（120-630nm）都有利于PZT晶粒的长大。在650～750℃退火的PZT薄膜具有较好的铁电性能，保温时间对PZT薄膜的铁电性能影响不大，PZT薄膜的厚度为200-300nm时可以得到比较好的铁电性能。在退火温度750℃、保温时间30min条件下退火处理厚310nm的PZT薄膜，其剩余极化值（2Pr）和矫顽电场（2Ec）分别是72μC／cm^2、158kV/cm。
- 郭冬云毛薇秦岩黄志雄王传彬沈强张联盟
- 关键词：薄膜厚度铁电性能
