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季力
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
厦门大学物理与机电工程学院物理学系
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发文基金:
内蒙古自治区自然科学基金
内蒙古自治区高等学校科学研究项目
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相关领域:
理学
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合作作者
李健
内蒙古大学物理科学与技术学院
杨晶
内蒙古大学物理科学与技术学院
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传感器与微系...
年份
1篇
2011
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CeO_2掺杂对ZnO薄膜气敏特性的影响
被引量:4
2011年
ZnO薄膜进行CeO2掺杂,研究掺杂含量和热氧化对薄膜结构、表面、晶粒尺寸及气敏特性的影响。结果显示,用热蒸发制备的高纯Zn膜经500℃热氧化,获得c轴取向ZnO多晶薄膜。掺CeO2可抑制晶粒生长使颗粒细化平均粒径减小,同时改善了ZnO薄膜的体相化学计量比,Zn与O的比例从未掺杂时1∶1.28降到1∶1.191。XPS分析给出薄膜中Zn显+2价,O为-2价。掺CeO2(9%)可大大提高薄膜对乙醇和丙酮的敏感性,灵敏度分别达35和40。
季力
杨晶
李健
关键词:
氧化锌薄膜
气敏特性
丙酮
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