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杨佳霖
作品数:
5
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供职机构:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈星
中国科学院长春光学精密机械与物...
刘可为
中国科学院长春光学精密机械与物...
申德振
中国科学院长春光学精密机械与物...
王潇
中国科学院长春光学精密机械与物...
李炳辉
中国科学院长春光学精密机械与物...
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紫外探测器
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机构
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中国科学院长...
作者
5篇
申德振
5篇
刘可为
5篇
陈星
5篇
杨佳霖
2篇
张振中
2篇
李炳辉
2篇
王潇
年份
1篇
2021
2篇
2020
2篇
2016
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5
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一种MOCVD装置及半导体材料生产设备
本发明公开了一种MOCVD装置,包括进样室、传输系统、MOCVD反应室、保护密封管及后处理室;所述进样室用于接收待处理样品;所述MOCVD反应室包括喷淋头及样品台,进行气相沉淀处理的药品从所述喷淋头喷出,达到放置于所述样...
刘可为
陈星
申德振
杨佳霖
一种MOCVD组合喷淋头及MOCVD设备
本发明公开了一种MOCVD组合喷淋头,包括固定轨道及多个单一反应源喷淋头;所述固定轨道用于固定多个所述单一反应源喷淋头;所述单一反应源喷淋头包括机动组件、扩散腔、输气管及喷嘴阵列;反应气体通过所述输气管进入所述扩散腔,并...
刘可为
陈星
申德振
杨佳霖
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一种MOCVD组合喷淋头及MOCVD设备
本发明公开了一种MOCVD组合喷淋头,包括固定轨道及多个单一反应源喷淋头;所述固定轨道用于固定多个所述单一反应源喷淋头;所述单一反应源喷淋头包括机动组件、扩散腔、输气管及喷嘴阵列;反应气体通过所述输气管进入所述扩散腔,并...
刘可为
陈星
申德振
杨佳霖
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一种β-氧化镓纳米线阵列薄膜及其制备方法
本申请公开了一种β?氧化镓纳米线阵列薄膜及其制备方法,其中,β?氧化镓纳米线阵列薄膜的制备方法包括:将融化的金属镓旋涂于衬底表面;将表面涂覆有金属镓的衬底在预设温度条件焙烧第一预设时间,所述预设温度的取值范围为500?1...
陈星
刘可为
李炳辉
张振中
王潇
杨佳霖
申德振
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一种氧化镓日盲紫外探测器及其制备方法
本申请公开了一种氧化镓日盲紫外探测器及其制备方法,其中,氧化镓日盲紫外探测器的制备方法包括:将融化的金属镓旋涂于衬底表面;将表面涂覆有金属镓的衬底在预设温度条件焙烧第一预设时间,预设温度的取值范围为800‑1100℃,包...
陈星
刘可为
李炳辉
张振中
王潇
杨佳霖
申德振
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