陈永军
- 作品数：2 被引量：6H指数：2
- 供职机构：重庆大学光电工程学院微系统研究中心更多>>
- 发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信动力工程及工程热物理自动化与计算机技术更多>>
- AlN压电振动能量收集器的结构优化设计与实验被引量：2
- 2018年
- 在整体尺寸不变的基础上,结合集总参数模型,利用ANSYS有限元软件对氮化铝(Al N)压电振动能量收集器的结构参数进行优化设计,得到压电悬臂梁单元的优化尺寸为5 mm×12 mm×0.05 mm。设计了工艺流程,加工了原理样机。经测试:在1 gn加速度,204.6 Hz谐振频率激励下,样机在最优化负载80 kΩ下的输出电压为2.3 V,输出功率为66.125μW,满足部分低功耗传感节点的供能要求。
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- 关键词：氮化铝微机电系统压电
- 一种基于故障监测的MEMS压电能量收集器被引量：4
- 2017年
- 为了实现对轮船发动机故障监测系统的可持续供电,针对轮船发动机振动特性以及故障监测系统应用需求,设计了一种基于d31工作模式的微机电系统(MEMS)压电振动能量收集器。该能量收集器采用了共质量块压电悬臂梁阵列结构,与传统单梁结构相比,其降低了MEMS压电振动能量收集器的机械阻尼。通过ANSYS软件对结构进行了优化设计,得到压电悬臂梁的优化尺寸为2.72mm×3.55mm×0.125mm,硅质量块的优化尺寸为14mm×8.45 mm×0.575 mm。设计了器件的加工工艺流程,并完成了芯片的制作。在加速度2g(g=9.8m/s2),谐振频率606Hz,最优化负载45kΩ下,输出电压为4.32V,输出功率为414.7μW,能够满足故障检测系统的可持续供电需求。
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- 关键词：微机电系统压电故障监测阵列
