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陈智辉
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1
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供职机构:
北京邮电大学理学院光通信与光波技术教育部重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
芦鹏飞
北京邮电大学理学院光通信与光波...
刘玉敏
北京邮电大学理学院光通信与光波...
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北京邮电大学理学院光通信与光波...
俞重远
北京邮电大学理学院光通信与光波...
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分子动力学方法模拟GaN薄膜生长
2008年
采用分子动力学模拟方法,应用Bucking-ham经验势模型,模拟纤锌矿相GaN的薄膜晶格生长。研究了GaN薄膜生长的早期阶段的形貌特点、生长规律、表面结构及动力学特性。模拟发现,N原子与Ga原子按照晶格特征吸附在衬底上,作层状分布趋势并且薄膜层从下到上晶态特征逐渐减弱。观察每层沉积原子数、空位比、沉积原子团簇质心高度与沉积原子均方位移随时间的变化规律,发现了随着时间步数增加,原子团簇逐渐达到稳定,在5000步时前3层都达到了较稳定状态,且N原子比Ga原子能更快地找到平衡位置。
陈智辉
俞重远
芦鹏飞
刘玉敏
王永钢
关键词:
分子动力学模拟
薄膜生长
GAN
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