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郑雪芳
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
浙江师范大学数理与信息工程学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
袁琦睦
浙江师范大学数理与信息工程学院
林意
江南大学数字媒体学院
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林意
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郑雪芳
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计算机与数字...
年份
1篇
2013
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基于图像处理的芯片尺寸测量系统研究
被引量:2
2013年
利用图像处理技术设计了一个芯片尺寸测量系统,实现了对芯片电路尺寸的精确测量。介绍了测量系统的组成,以及对采集的显微图像进行的灰度化、滤波降噪、阈值分割、边缘检测等处理,并通过一块已知尺寸的半导体芯片对测量系统进行了标定。最后,利用该系统对芯片电路的线宽进行了测量。实验结果表明,该测量系统具有较高的精度。
郑雪芳
林意
袁琦睦
关键词:
半导体芯片
图像处理
显微图像
边缘检测
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