邹旻
- 作品数：2 被引量：14H指数：2
- 供职机构：常州大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- 超临界二氧化碳流体电镀镍溶液特性的数值分析被引量：8
- 2010年
- 采用超临界CO2电沉积方法制备高性能纳米晶粒沉积层,是制备纳米材料(镀层)的一种新方法。针对超临界条件下压力和温度参数对电镀体系乳化液电阻特性的影响,建立了其优化数学模型,利用MATLAB软件最优化工具箱和anoval2方差分析函数进行数值求解和影响程度分析,同时采用非离子表面活性剂进行超临界CO2电镀金属镍的试验,并借助EV iews软件对所建模型进行验证。结果表明:模型优化值与分析值几乎吻合;在优化条件下,体系乳化液的电阻分散状态最佳,镀层的平均硬度约提高30%;同等条件下压力对乳化液电阻的影响更显著,2软件结果显示出较好的一致性。采用MATLAB软件分析超临界电镀镍溶液特性是行之有效的方法,可为电镀新工艺开发提供科学依据。
- 王星星雷卫宁刘维桥邹旻
- 关键词：电镀镍超临界CO2温度电阻
- MEMS微器件电沉积层均匀性的研究进展被引量：7
- 2011年
- 有效地改善沉积层厚度均匀性是电化学沉积技术应用的关键,简述了微电铸原理,综述了国内外微器件沉积层均匀性的最新研究进展,包括优化工艺参数、脉冲电流与换向脉冲电流、改善传质条件、辅助阴极、阴极屏蔽、阳极特性及数值模拟仿真技术改善沉积层均匀性的研究报道,详细介绍了超临界CO2电化学沉积新方法及其优点,并展望了今后的研究重点及发展方向。
- 王星星雷卫宁刘维桥姜博邹旻
- 关键词：微器件电铸沉积层均匀性超临界CO2
