赵菲菲
- 作品数：3 被引量：15H指数：3
- 供职机构：中国科学院大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 材料折射率非均匀性对极小像差光学系统像质的影响被引量：5
- 2013年
- 为了分析光学材料折射率非均匀性对极小像差光学系统成像质量的影响,从而指导系统的进一步优化设计,提出一种三维仿真和光线追迹方法。该方法是在Zemax中通过自定义的程序,构建材料折射率均匀性的三维分布,设置光线追迹的步长,并控制整个光线追迹的过程,以提高仿真分析的精度。利用所提出的三维仿真和光线追迹方法,对一个数值孔径为0.7、工作波长为632.8nm、波像差均方根(RMS)值为1.5nm的小像差光学系统进行了仿真分析。结果表明,相比于传统的二维处理方法,提出的方法仿真精度有较大提高。
- 杨添星黄玮尚红波许伟才赵菲菲
- 关键词：光学设计非均匀性ZERNIKE多项式光线追迹
- 投影光刻物镜的计算机辅助装调被引量：8
- 2014年
- 针对投影光刻物镜苛刻的像质要求，将计算机辅助装调（CAA）技术引人投影光刻物镜的装调过程中，建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4～37项，以及畸变作为校正对象，并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODEV的宏功能和Matlab结合，采集灵敏度矩阵和像质数据。提出用奇异值分解求加权最小二乘解的方法计算补偿量，通过权重因子实现对不同视场上不同Zernike项系数或畸变的改进。将补偿后光刻物镜的性能和理想光刻物镜对比，发现相比于设计镜头，装调后镜头的平均波前均方根（RMS）大约差0．004λ，平均畸变大约差1nm，该方法可以将系统波像差和畸变恢复到接近设计水平。
- 赵菲菲唐剑宇黄玮许伟才
- 关键词：光学设计计算机辅助装调投影光刻物镜奇异值分解
- Shack-Hartmann波前传感器质心探测的优化方法被引量：3
- 2014年
- 为提高Shack-Hartmann(S-H)波前传感器的光斑质心探测精度,在分析质心探测误差来源的基础上,提出基于模板匹配的探测窗口选取方法和基于单个光斑的自适应阈值选取方法,将这两种方法与加权质心算法相结合求取质心,提高了质心探测精度。与固定阈值和传统质心算法相比较,当SNR大于3时,质心探测精度平均提高了约40%。将文中的方法应用于可见光波段的商品S-H波前传感器,实验表明:文中方法得到的质心偏离度由传统方法的0.83pixel的最大值减小至0.15pixel。该工作有重要的应用价值。
- 赵菲菲黄玮许伟才杨添星
- 关键词：阈值选取
