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秦双亮

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：陕西科技大学电气与信息工程学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划陕西省教育厅科研计划项目更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇透射
  • 1篇透射率
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射功率
  • 1篇方阻
  • 1篇AZO
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇陕西科技大学

作者

  • 1篇宁青菊
  • 1篇宁磊
  • 1篇陈阳阳
  • 1篇史永胜
  • 1篇秦双亮

传媒

  • 1篇材料导报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
溅射功率对AZO透明导电薄膜的影响被引量：5
2011年
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积了AZO透明导电薄膜,并用原子力显微镜观测了薄膜表面形貌,XRD测试了薄膜相结构和单色仪测试了薄膜透射率。结果表明,制备的薄膜具有高度c轴择优取向性,其表面平整,晶粒均匀致密。当溅射功率为180W、溅射气体流量为15sccm、基片温度为200℃时制得的薄膜方阻为10Ω/□,在可见光区平均透射率大于85%。
史永胜陈阳阳宁青菊秦双亮宁磊
关键词：AZO射频磁控溅射溅射功率方阻透射率
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