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文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 3篇掺杂
  • 2篇AZO
  • 1篇性能研究
  • 1篇透明导电
  • 1篇退火
  • 1篇热稳定
  • 1篇热稳定性
  • 1篇氩气
  • 1篇ZNO:AL
  • 1篇
  • 1篇AZO薄膜
  • 1篇H

机构

  • 3篇深圳大学

作者

  • 3篇吕有明
  • 3篇贾芳
  • 3篇柳文军
  • 3篇朱德亮
  • 3篇曹培江
  • 3篇马晓翠
  • 3篇石素君

传媒

  • 2篇第五届届全国...
  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2012
  • 2篇2011
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
氢掺杂对AZO薄膜电学性能的影响
磁控溅射方法室温下制备的AZO透明导电薄膜结晶性差,薄膜内存在诸多缺陷,严重影响其光电性能。实验发现[1-3]在ZnO基薄膜制备过程掺入一定的氢可有效改善薄膜电学性能。本论文采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备出性能良...
石素君朱德亮吕有明曹培江柳文军贾芳马晓翠
H掺杂ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究
朱德亮向恢复石素君贾芳曹培江柳文军马晓翠吕有明
氩气退火对氢掺杂AZO薄膜电学性能的影响被引量:7
2012年
采用射频磁控溅射法,在石英玻璃衬底上制备出了性能良好的H掺杂AZO透明导电薄膜,通过XRD、Hall、UV-Vis等测试手段,研究了氩气气氛中退火温度对薄膜电学热稳定性的影响。实验结果显示,随着退火温度的升高,薄膜中载流子的浓度和迁移率下降。分析认为,这与薄膜中氢的逸出密切相关。
石素君朱德亮吕有明曹培江柳文军贾芳马晓翠
关键词:热稳定性
共1页<1>
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