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石素君
作品数:
3
被引量:7
H指数:1
供职机构:
深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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马晓翠
深圳大学材料学院深圳市特种功能...
曹培江
深圳大学材料学院深圳市特种功能...
朱德亮
深圳大学材料学院深圳市特种功能...
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深圳大学材料学院深圳市特种功能...
贾芳
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氢掺杂对AZO薄膜电学性能的影响
磁控溅射方法室温下制备的AZO透明导电薄膜结晶性差,薄膜内存在诸多缺陷,严重影响其光电性能。实验发现[1-3]在ZnO基薄膜制备过程掺入一定的氢可有效改善薄膜电学性能。本论文采用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备出性能良...
石素君
朱德亮
吕有明
曹培江
柳文军
贾芳
马晓翠
H掺杂ZnO:Al透明导电薄膜的制备及性能研究
朱德亮
向恢复
石素君
贾芳
曹培江
柳文军
马晓翠
吕有明
氩气退火对氢掺杂AZO薄膜电学性能的影响
被引量:7
2012年
采用射频磁控溅射法,在石英玻璃衬底上制备出了性能良好的H掺杂AZO透明导电薄膜,通过XRD、Hall、UV-Vis等测试手段,研究了氩气气氛中退火温度对薄膜电学热稳定性的影响。实验结果显示,随着退火温度的升高,薄膜中载流子的浓度和迁移率下降。分析认为,这与薄膜中氢的逸出密切相关。
石素君
朱德亮
吕有明
曹培江
柳文军
贾芳
马晓翠
关键词:
热稳定性
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