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孙硕

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：浙江大学信息科学与工程学院光电信息工程学系更多>>
发文基金：高等学校特色专业建设点项目浙江省新世纪高等教育教学改革研究项目更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇隐函数
  • 1篇椭偏法
  • 1篇误差分析
  • 1篇光学
  • 1篇函数
  • 1篇反函数
  • 1篇薄膜光学
  • 1篇差分

机构

  • 1篇浙江大学

作者

  • 1篇茹启田
  • 1篇林远芳
  • 1篇郑晓东
  • 1篇黄强盛
  • 1篇孙硕

传媒

  • 1篇浙江大学学报...

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
椭偏参数测量误差对薄膜参数测试精度的影响被引量：1
2011年
为了分析透明均匀介质膜的椭偏方程中所隐含的椭偏参数和薄膜参数(膜厚、折射率)之间的误差关系,提出基于误差传递公式和反函数组定理,通过求出椭偏参数对薄膜参数的偏导在名义膜厚和名义折射率处的值来反求后者对前者的偏导值,进而绘出不同入射角下膜厚和折射率误差与椭偏参数测量误差之间的关系曲线的方法.该法所得结果表明,椭偏参数测量误差导致的膜厚误差和折射率误差并非在同一入射角下达到最小;它们最小时所分别对应的最佳入射角随着入射光波长、薄膜名义膜厚、名义折射率和基片折射率变化而变化;若以各自最佳入射角时所对应测得的膜厚和折射率作为薄膜参数测试值,则能有效提高测量精度.该结论与在激光椭偏仪上的实际测量结果相符.文中方法对分析其他超越方程中多个变量之间的误差关系以及各变量值的优化选取有一定参考价值.
林远芳黄强盛茹启田孙硕郑晓东
关键词：薄膜光学椭偏法隐函数反函数误差分析
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