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高艳芬
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
河北大学物理科学与技术学院
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发文基金:
河北省自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
郝忠秀
河北大学物理科学与技术学院
温梦仙
河北大学物理科学与技术学院
刘保亭
河北大学物理科学与技术学院
乔晓东
河北大学物理科学与技术学院
赵庆勋
河北大学物理科学与技术学院
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2008
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铜膜制备过程中辉光等离子体的双探针诊断
被引量:1
2008年
采用Langmuir双探针技术对氩气环境下射频磁控溅射铜薄膜过程中产生的辉光等离子体进行了实时诊断.结果表明,在一定的射频功率下,电子温度随气压的增大呈指数衰减的趋势变化;在一定的反应气压下,电子温度和电子密度随射频功率的增大均呈线性增加的趋势.电子的运动速度数量级为106m/s,比离子的运动速度大3个数量级.
高艳芬
郝忠秀
温梦仙
乔晓东
刘保亭
赵庆勋
关键词:
电子温度
电子密度
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