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高艳芬

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金：河北省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇电子密度
  • 1篇电子温度

机构

  • 1篇河北大学

作者

  • 1篇赵庆勋
  • 1篇乔晓东
  • 1篇刘保亭
  • 1篇温梦仙
  • 1篇郝忠秀
  • 1篇高艳芬

传媒

  • 1篇河北大学学报...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
铜膜制备过程中辉光等离子体的双探针诊断被引量：1
2008年
采用Langmuir双探针技术对氩气环境下射频磁控溅射铜薄膜过程中产生的辉光等离子体进行了实时诊断.结果表明,在一定的射频功率下,电子温度随气压的增大呈指数衰减的趋势变化;在一定的反应气压下,电子温度和电子密度随射频功率的增大均呈线性增加的趋势.电子的运动速度数量级为106m/s,比离子的运动速度大3个数量级.
高艳芬郝忠秀温梦仙乔晓东刘保亭赵庆勋
关键词：电子温度电子密度
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共1页<1>
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