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谭文耀

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：四川压电与声光技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇陀螺
  • 1篇谐振子
  • 1篇金属化
  • 1篇溅射
  • 1篇半球谐振陀螺
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇四川压电与声...

作者

  • 1篇蒋春桥
  • 1篇冒继明
  • 1篇张挺
  • 1篇徐思宇
  • 1篇谭文耀

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
半球陀螺谐振子的金属化镀膜工艺技术研究被引量：8
2006年
高品质因数(即高Q值,Q>107)的石英半球谐振子是制造高精度半球谐振陀螺的关键,而球面金属化镀膜工艺是半球振子制造的重要工艺环节。该文介绍了金属化镀膜工艺及其膜层均匀性对谐振子品质因数的影响及降低膜层残余应力的工艺解决方案等。
张挺徐思宇冒继明谭文耀蒋春桥
关键词：半球谐振陀螺磁控溅射金属化
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