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童贝

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇退火
  • 1篇溅射
  • 1篇ALN
  • 1篇磁电
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇林更琪
  • 1篇欧阳君
  • 1篇杨晓非
  • 1篇陈实
  • 1篇童贝

传媒

  • 1篇无机材料学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
AlN/FeCoSiB磁电复合薄膜的制备及其逆磁电效应研究
2013年
借助射频磁控溅射成功制备了AlN/FeCoSiB磁电复合薄膜,探讨了退火条件对AlN薄膜压电性能和FeCoSiB薄膜磁性能的影响,并研究了其逆磁电响应。结果显示,500℃退火处理的AlN薄膜具有高度(002)择优取向和柱状生长结构;经过300℃退火后FeCoSiB薄膜的磁场灵敏度提高。该磁电复合薄膜的逆磁电电压系数(αCME)在偏置磁场(Hdc)为875 A/m时达到最大值62.5 A/(m·V);且磁感应强度(B)随交变电压(Vac)的变化呈现优异的线性响应(线性度达到1.3%)。这种AlN/FeCoSiB磁电复合薄膜在磁场或电场探测领域具有广阔的应用前景。
童贝杨晓非林更琪陈实欧阳君
关键词：射频磁控溅射退火
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