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朱腾飞

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇探测器
  • 1篇气体传感
  • 1篇气体传感器
  • 1篇红外
  • 1篇红外气体传感...
  • 1篇红外探测
  • 1篇红外探测器
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS工艺
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇华中科技大学

作者

  • 1篇赖建军
  • 1篇王彬
  • 1篇彭中良
  • 1篇李辉
  • 1篇朱腾飞

传媒

  • 1篇激光与红外

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于MEMS工艺的集成红外气体传感器工艺研究被引量：4
2014年
研究了一种采用MEMS技术实现的含有红外发射源和探测单元的片上集成红外气体传感器芯片。通过理论分析证明了探测器和红外发射源可以集成在同一衬底上的可行性,采用正面刻蚀和背面ICP深刻蚀硅工艺实现红外发射元和探测单元的悬空热隔离结构,可以使红外发射源和探测器同时工作在较好的性能状态下。通过对红外气体传感器的红外发射源和探测单元的测试,表明两种单元均可以正常工作,验证了这种集成工艺的可行性。
朱腾飞李辉李明燃王彬彭中良赖建军
关键词：红外气体传感器红外探测器
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共1页<1>
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