刘明祥
- 作品数：2 被引量：14H指数：2
- 供职机构：同济大学机械与能源工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信经济管理更多>>
- 带驻留约束的双臂集束型设备群的调度方法被引量：5
- 2014年
- 为提高集束型设备群的生产效率,在考虑加工不同种类晶圆条件下,研究带驻留约束的双臂集束型设备群的建模与调度问题.提出虚拟缓冲模块概念,引入时间区间集来描述系统的运行状态,并以此建立调度问题的非线性规划模型;结合数学模型,提出一种以时间区间集为核心的基于虚拟缓冲模块概念和交换策略的调度算法;对所提出的算法进行了仿真分析.结果表明:所构建的算法运行时间短,调度1个Lot数量的晶圆仅仅需要0.5 s左右,响应时间快;与研究问题域的下界比较,算法的结果接近下界;当设备因子大于5时,周期延长率R已经全部小于0.05,取得了较好的调度效果,表明算法是可行且有效的.
- 周炳海刘明祥周淑美
- 关键词：调度
- 基于时间约束集的集束型设备群调度方法被引量：10
- 2012年
- 随着300mm晶圆的加工技术问世,工业界开始采用一种全新的晶圆制造设备—集束型设备群(Multi-cluster tools).对于单个集束型设备(Single-cluster tools)调度研究已比较成熟,并提出了多种调度方法,然而对于集束型设备群调度研究尚处在一个起步阶段.本文对带有驻留约束且具有多种晶圆类型的集束型设备群的调度问题进行了研究,在引入时间约束集概念的基础上建立了调度模型,同时,提出了一种逐级回溯的调度方法,并对调度算法进行了仿真实验分析.仿真结果表明本文提出的算法是有效且可行的.
- 刘明祥周炳海
- 关键词：调度
