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魏红霞

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇清洗槽
  • 1篇清洗剂
  • 1篇清洗液
  • 1篇晶圆
  • 1篇晶圆清洗
  • 1篇花篮

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇张学敏
  • 1篇俞挺
  • 1篇魏红霞

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
晶圆清洗花篮
本实用新型公开了一种晶圆清洗花篮，用于装载待清洗的晶圆并浸入至清洗槽内的清洗液中，以对所述晶圆进行清洗，所述晶圆清洗花篮包括：清洗腔体，所述清洗腔体至少具有两相对的侧壁，每个所述侧壁上均开设至少一列第一插槽，所述晶圆通过...
俞挺张学敏魏红霞
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