向婷
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 复合量程微加速度计封装热应力的研究被引量：3
- 2011年
- 贴片胶的选择和贴片工艺对MEMS封装器件的可靠性和有效性影响很大。针对贴片胶固化时热效应的影响,分析复合量程微加速度计封装热应力产生的机理。从贴片胶的材料特性出发,分析贴片胶的厚度、杨式模量及热膨胀系数对硅芯片所受到封装热应力的影响。并通过有限元仿真分析,确定了适合复合量程加速度计封装的贴片胶材料及使用厚度,并用拉曼光谱仪对封装后的应力进行了测试,结果显示应力较小,封装效果良好。
- 向婷郭涛林大为刘鹏飞
- 关键词：贴片胶ANSYS仿真
- MEMS低量程微加速度计的设计被引量：3
- 2011年
- 在传统双边四梁微加速度计结构的基础上,设计了一种新型MEMS低量程微加速度计,量程为±10 g。用ANSYS有限元软件对加速度计的结构建立仿真模型,进行应力、模态及抗冲击能力分析。加速度计供电电压为5 V时,灵敏度理论值达到1.029 mV/g,与传统结构相比,极大地提高了低量程微加速度计的灵敏度。
- 郭涛林大为向婷
- 关键词：MEMS微加速度计有限元分析灵敏度
- 复合量程加速度计抗过载技术的研究被引量：1
- 2010年
- 介绍了复合量程加速度计的设计原理,对加速度计的抗高过载能力进行理论分析和实践证明。从复合量程加速度计的内部结构设计到外部封装设计两个方面考虑提高抗高过载能力。应用ANSYS软件对结构进行仿真,并应用到实际的过载试验。试验中,复合量程加速度计在经过高过载之后,能有效的测得炮弹膛内初始过载和外弹道轴向过载,而且加速度计没有被损坏。结果证明,这种抗过载设计方案具有很高的可靠性。
- 夏烈芳郭涛向婷
- 关键词：ANSYS仿真
