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高毓琨

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：中国计量学院计量测试工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金浙江省科技计划项目更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇驻波场
  • 1篇激光
  • 1篇激光技术
  • 1篇激光驻波场
  • 1篇光技术
  • 1篇仿真

机构

  • 1篇同济大学
  • 1篇中国计量学院

作者

  • 1篇张宝武
  • 1篇马艳
  • 1篇支理想
  • 1篇张萍萍
  • 1篇周晋羽
  • 1篇李思荣
  • 1篇陈辰
  • 1篇高毓琨

传媒

  • 1篇激光技术

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于直边衍射的高斯激光驻波场仿真被引量：6
2012年
为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响,基于标量光学理论,采用数值计算对直边衍射情况下高斯激光驻波场特性进行了仿真。结果表明,高斯激光的直边衍射效应会呈现与平面光波相似的强度振荡现象,两者直边衍射后的第1个强度突变分别为中轴线强度的1.18倍和1.37倍;随着束腰的增大,高斯激光的衍射越接近平面波;中轴线和基片表面距离会影响高斯激光截面进入直边几何阴影之外的大小;直边衍射后入射波和其经过反射镜作用的反射波相遇叠加在光轴方向上会形成稳定的驻波;这种驻波的强度在垂直光轴截面上呈现一定的衍射特性。该研究有利于理解直边衍射时高斯驻波场形成的实质;并可通过适当的激光参量来调整实验激光驻波场结构。
张宝武马艳张萍萍支理想李思荣周晋羽陈辰高毓琨
关键词：激光技术激光驻波场
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