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钱颖

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：集成光电子学国家重点联合实验室更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇导光
  • 1篇列阵
  • 1篇列阵波导光栅
  • 1篇火焰水解法
  • 1篇光栅
  • 1篇复用
  • 1篇复用器
  • 1篇波导
  • 1篇波导材料
  • 1篇波导光栅
  • 1篇波分
  • 1篇波分复用
  • 1篇波分复用器

机构

  • 1篇集成光电子学...

作者

  • 1篇吴远大
  • 1篇张乐天
  • 1篇张玉书
  • 1篇郑伟
  • 1篇李爱武
  • 1篇钱颖
  • 1篇邢华

传媒

  • 1篇中国有色金属...

年份

  • 1篇2003
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排序方式：
火焰水解法快速生长硅基二氧化硅厚膜波导材料
本文采用的火焰水解法,其工艺具有成膜速度快,能制作厚膜,设备简单,易于操作等优点.实验中,利用自制的火焰水解法淀积二氧化硅设备,在硅片上快速淀积结构疏松的无定形态二氧化硅厚膜材料,然后将该材料分别在真空中高温致密化处理,...
郑伟吴远大张乐天邢华李爱武钱颖张玉书
关键词：列阵波导光栅波分复用器火焰水解法
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