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郭明
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
华东师范大学信息科学技术学院
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相关领域:
理学
电气工程
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合作作者
童梓洋
华东师范大学信息科学技术学院
秦苏梅
华东师范大学信息科学技术学院
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华东师范大学
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秦苏梅
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童梓洋
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郭明
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年份
1篇
2008
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Casimir效应对微纳机械开关稳定性的影响
被引量:1
2008年
在微/纳机械系统中的一个重要问题就是粘附效应(stiction)。在亚微米尺寸下,Casimir力对于粘附效应的影响是最为严重的。本文分析了Casimir效应对于微纳机械开关中与粘附效应相关的两个参数临界初始距离Lmin和临界电压(pull-involtage)的影响。在临界电压的分析计算过程中重点讨论了材料性质所产生的作用。随着微纳构件之间距离的减小,材料的导电性和表面粗糙程度对器件的稳定性的影响也越来越大。在微/纳机械系统的制造中,通过选择不同的材料可以极大地改善系统的稳定性。
童梓洋
秦苏梅
郭明
关键词:
CASIMIR效应
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