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竺晓山
作品数:
2
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘利
中国科学院物理研究所
郇庆
中国科学院物理研究所
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机构
2篇
中国科学院
作者
2篇
郇庆
2篇
刘利
2篇
竺晓山
年份
1篇
2019
1篇
2016
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电子束加热蒸发源控制器
本发明提供了一种电子束加热蒸发源控制器,包括信号设定装置、负反馈控制器、第一信号选择器、数据转换器、电压源和乘法器,信号设定装置用于输出电压设定数字信号和功率设定数字信号,第一信号选择器用于可选择地使得电压设定数字信号或...
刘利
郇庆
竺晓山
电子束加热蒸发源控制器
本发明提供了一种电子束加热蒸发源控制器,包括信号设定装置、负反馈控制器、第一信号选择器、数据转换器、电压源和乘法器,信号设定装置用于输出电压设定数字信号和功率设定数字信号,第一信号选择器用于可选择地使得电压设定数字信号或...
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